Bei micro ATX - weitere Bezeichnungen sind mATX, µATX oder uATX - handelt es sich um einen Standard für Motherboards, der im Dezember 1997 eingeführt wurde. Die maximale Größe einer micro ATX Hauptplatine beträgt 244 mm x 244 mm, wobei mit einer Größe von 171 mm x 171 mm auch kleinere mATX Motherboards erhältlich sind. Die gängigen Hauptplatinen sind im Vergleich zu micro ATX Mainboards um 25 Prozent länger.
Bei der Konzeption von micro ATX wurde auf eine Backward-Kompatibilität mit ATX Mainboards geachtet. So sind die Befestigungsstellen bei mATX-Boards eine Untermenge derer, die auf Full-Size-ATX-Mainboards verwendet werden, zudem weisen mATX- und ATX-Hauptplatinen dieselben I/O-Panel auf. Aus diesem Grund ist es möglich, micro ATX Boards in die Gehäuse von ATX-Motherboards zu integrieren. Da die meisten micro ATX Hauptplatinen die gleichen Stromanschlüsse wie Full-Size-ATX-Motherboards verwenden, können gängige ATX-Netzteile auch mit micro ATX Hauptplatinen verwendet werden. In der Regel sind die Chipsätze bei mATX- und ATX-Boards identisch, sodass diese beiden Motherboard-Arten auf den gleichen Komponenten basieren.
Während die meisten gängigen ATX-Motherboards fünf oder mehr PCI-Express bzw. PCI-Steckplätze besitzen, haben mATX-Boards im Allgemeinen nur vier. Aus diesem Grund produzieren viele Hersteller micro ATX Boards, in die eine vollständige Palette von Peripheriegeräten bereits integriert ist. So besitzt beispielsweise das Asus A8N-VM CSM Motherboard unter anderem über eine integrierte GeForce 6 Grafikkarte, AC'97 Audio und Gigabit-Ethernet. Somit können diejenigen Steckplätze, die für eine Grafikkarte, Soundkarte und für eine Ethernet-Karte verwendet worden wären, eingespart werden. Zentrale Komponenten bereits in das Motherboard zu integrieren, hat sich in den letzten Jahren jedoch auch bei ATX-Boards etabliert.